TSMC đang dự định dùng cấu trúc ARMv8 64-bit để thử nghiệm quy trình sản xuất bằng công nghệ 16nm FinFET và kế hoạch sẽ đi vào sản xuất hàng loạt từ tháng 11/2013 .
TSMC cho biết “ Quy trình sản xuất 16nm FinFET thực chất tương tự như công nghệ 20nm High-K Metal Gate SoC “.
Theo lộ trình , sau 16nm , TSMC sẽ tiến tới công nghệ 14nm và sẽ đạt tới 10nm trong năm 2016 .