Surface Pro 3 có màn hình 12-inch với độ phân giải  2160x1440 , cung cấp nhiều bộ nhớ và cấu hình lưu trữ cho phép người mua lựa chọn tùy thuộc vào túi tiền .Model 4GB RAM có dung lượng lưu trữ 64GB hoặc 128GB , model 8GB có dung lượng lưu trữ 256GB hoặc 512GB .

Surface Pro 3 được cho là mỏng nhất và nhẹ nhất trong gia đình Pro , trang bị chip xử lí Intel Haswell Core i3/i5 hoặc i7 . Pro 3 dùng hệ điều hành Windows 8.1 , có hai Camera 5MP phióa trước và phía sau .

Những đặc tính kỹ thuật khác của Surface Pro 3 bao gồm cổng USB 3.0 , kèm theo khe cắm thẻ nhớ microSD , Jack cắm tai nghe , cổng mini DisplayPort , cổng kết nối trạm làm việc cho phép kết nối tới những Type Cover mới , nặng 800 gam .